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超臨界流体とは
超臨界流体とは、温度が臨界温度以上で、圧力が臨界圧力以上の気体と液体の中間状態であり、双方の状態の特徴である低粘性と高密度という矛盾した特性を併せ持つ流体のことです。
複雑な形をした隙間にも簡単に入り込むことができるので、それを応用した研究が進んでいます。
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・液体に近い密度!
・気体に近い低粘性・高拡散性!
・表面張力ゼロ!
・輸送物性が高い!
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超臨界流体を活用した新めっき技術
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次世代半導体銅配線形成技術の実現に向けた、超臨界流体を活用した、ピンホール・ボイドなど、欠陥の無い配線を形成可能とする新めっき技術の開発。 |
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φ60nmHoleの埋め込みを確認
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めっき前
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めっき後
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取得特許
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特許4101261:被処理物の表面処理方法及び表面処理装置 |
特許4163728:電気めっき方法 |
特許4177400:無電解めっき方法 |
特許4613270:無電解めっき方法 |
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