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UDD(PDD)の研磨材料

UDDを含む研磨剤は、電子産業、光学、医療器具、機械製作での最終研磨剤として従来の研磨剤で到達できない領域を目指す事ができる。
当社は特別に処理したUDD粉体をベースにして、超精密研磨剤を開発した。この研磨剤は、スクラッチが少なく、高度な平面 平坦度(Ra<数オングストローム)で残留応力(歪み)の少ない面 をハイスループットで実現できる。かつ、化学的に安定、無毒な研磨材料である。

研摩スラリー製品例
粒径分布:0〜250nm
粒径寸法:d50=150nm
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