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測定装置

様々な測定装置
ビジョン開発では様々な測定装置を用いて、研究開発を行っています。
SEM-電界放射型走査電子顕微鏡

FE-SEM (日本電子社製JSM-7001F)
FE-SEMは「Field Emission-Scanning Electron Microscope」の略で、電界放射型走査電子顕微鏡の事です。
光学顕微鏡の光源にあたる電子線源として、高解像度・高倍率な電界放射を用いて電子ビームを試料に照射し、試料から放出される反射電子・透過電子・X線などを検出し表面の観察を行います。

FE-SEMオプション
・EDS (OXFORD社製INCAEnergy250)
EDSは「Energy Dispersive Spectroscopy」の略でエネルギー分散形分光装置の事です。
・反射電子検出器(日本電子社製SM-54060REBI)
FIB-集束イオンビーム加工観察装置
FIBは「Focused Ion Beam」の略で、集束イオンビーム加工観察装置の事です。
イオンを電界で加速したビームを細く絞って照射し、試料表面の原子をはじきとばすこと(スパッタリング現象)によって試料を掘削し微細加工します。SEM、TEM観察用の試料を作成する際に、よく用いられています。
ICP-EOS　誘電結合プラズマ発光分光分析
ICP-OES (エス・エス・アイ　ナノテクノロジー社製SPS5510)
ICP-OESは「Inductive Coupled Plasma-Optical Emission Spectrometry」の略で、誘電結合プラズマ発光分光分析の事です。
Arガスと共に試料を噴霧し高電圧をかけてプラズマ化します。試料は7,000K程度まで加熱され原子化した資料の発光スペクトルから同時多元素測定を行ないます。
粒度分布測定
UPA (マイクロトラックUPA-EX150)
FFT-パワースペクトル法（動的光散乱理論）を採用した、超微粒子の粒子径測定、粒度分布測定に適した粒度分布測定機です。測定範囲は0.8〜6,000nmでナノメートルの試料を測定するのに適しています。

HRA(マイクロトラックHRA)
レーザ回折・散乱法を採用した、微粒子の粒子径測定及び粒度分布測定に適した粒度分布測定機です。測定範囲は0.04〜1,000μmでマイクロメートルの試料を測定するのに適しています。
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